东莞市卓聚科技有限公司

该数据集用于测试电子束曝光设备在循环扫描路径方式下的通用性能和灵活性，解决传统工艺中存在的图形兼容性差、参数耦合复杂等技术瓶颈。通过对多种dxf图形在不同曝光条件下的加工结果数据进行验证，企业可评估设备是否具备快速适应新工艺与多样结构的能力，进而降低工艺开发门槛，提升研发灵活性与设备投入产出比。数据成果对解决企业“设备适应性差、工艺移植难、研发周期长”等问题具有重要意义，在量子材料、微光子芯片、先进半导体器件制程等领域具备广泛应用前景。