马吕斯超表面特性数据集

使用CST仿真软件仿真，以及采用电子束曝光、电子束蒸发、热蒸发等工艺制备马吕斯超表面，通过光学测试系统测量马吕斯超表面器件偏振复用特性的数据，数据集中包含不同图案的近场和远场图像，数据量约84.2 MB。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集通过CST仿真和电子束曝光等工艺制备马吕斯超表面，并利用光学测试系统测量其偏振复用特性。数据包含不同图案的近场和远场图像，总规模约为84.2 MB。