针对MEMS器件的标准化制造工艺的规程数据

本数据集数据包含了麦克风、惯性器件、压力传感器三个类别产品的工艺规程，规程内容包括器件加工的规范、工艺条件、基本的工艺规程和制作方法、安全操作以及检验等要求，相应产生7项发明专利。类型是文件，共17件。其中文件1~3为工艺规程，文件采集地点为浙江省绍兴市，采集时间2021年12月至2024年11月，数据来源于芯联集成电路制造股份有限公司的生产线上。文件4~17为相应发明专利申请受理通知书及发明专利申请。数据量9.48MB。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集提供了针对MEMS器件（包括麦克风、惯性器件和压力传感器）的标准化制造工艺规程，内容涵盖加工规范、工艺条件、制作方法、安全操作及检验要求。数据来源于芯联集成电路制造股份有限公司在浙江省绍兴市的生产线，采集于2021年12月至2024年11月，包含17个文件，数据量9.48MB，并关联7项发明专利。