针对40微米湿法腐蚀的片内均匀性的采集实验数据

本数据内容来源于课题1的指标1.6，要求腐蚀侧掏为40微米（器件规格：40±3微米）的条件下刻蚀均匀性<2%，数据内容主要包括研发阶段的实验室数据，小试，中试和示范工程分别是研发成功后将工艺技术逐步应用到各个产品上的四个阶段数据。类型是文件，共2件。其中文件1采用自测试方式，采集地点为浙江省绍兴市，采集时间2023年10月~2024年11月。文件2采用第三方测试的方式进行采集，采集地点为江苏省苏州市，采集时间2023年10月24日。数据量2.00MB。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集聚焦于40微米湿法腐蚀工艺的片内均匀性实验，要求腐蚀侧掏在40±3微米范围内且刻蚀均匀性低于2%。数据涵盖了从研发实验室到示范工程的多个阶段，包括两个文件，总计2.00MB，于2023年10月至2024年11月在浙江绍兴和江苏苏州采集。