光纤MEMS法珀微腔腔长变化量与压力数学模型数据集

本数据集来源于光纤MEMS法珀微腔压力传感器的实验测试，旨在支持光学传感、MEMS器件分析与压力标定研究的需求。数据在恒温实验室环境（22℃）中，基于光纤MEMS法珀微腔传感器产生，主要记录了波长变化、腔长变化、压力值、干涉峰光谱、抗干扰测试结果以及线性拟合系数等观测值。通过光纤光栅解调模块采集，扫描点数为2500点，采用光谱图二次拟合对称轴寻峰法计算中心波长，并基于干涉峰波长变化推算腔长变化，最终通过线性拟合建立压力与波长/腔长的数学模型。数据集内容包括传感器基本参数（如初始腔长276.9525μm）、全量程压力标定数据（0~10MPa）、各级干涉峰的拟合系数与拟合度、自测误差率及零点稳定性测试结果，并以图像文件（PNG/JPEG格式）和表格文件形式存储。数据量约为100MB，适用于光学压力传感器开发、性能验证、误差分析和数学模型构建等科研与工程应用。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集基于光纤MEMS法珀微腔压力传感器的实验测试，记录了在0~10MPa全量程压力下标定产生的波长变化、腔长变化等观测数据，并通过线性拟合建立了压力与波长/腔长的数学模型。数据以图像和表格文件形式存储，适用于光学压力传感器的开发、性能验证与误差分析等研究。