In2O3:F 薄膜化学组成与能带结构数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-03-21 收录
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该数据集基于原子层沉积制备的In2O3薄膜，并通过 CF4等离子体处理引入不同程度的氟掺杂，系统采集了不同氟化处理条件下薄膜的 X 射线光电子能谱（XPS）、紫外–可见吸收光谱（UV-Vis）以及紫外光电子能谱（UPS）数据。
提供机构：
北京大学深圳研究生院
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科研交流群
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该数据集基于原子层沉积制备的In2O3薄膜，并通过 CF4等离子体处理引入不同程度的氟掺杂，系统采集了不同氟化处理条件下薄膜的 X 射线光电子能谱（XPS）、紫外–可见吸收光谱（UV-Vis）以及紫外光电子能谱（UPS）数据。