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铌酸锂薄膜表面粗糙度第三方测试原始数据|光子学数据集|材料科学数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2024-03-05 收录
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https://www.nbsdc.cn/general/dataDetail?id=64edc866bb16e07753c35314&type=1
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链接失效反馈资源简介：
硅基铌酸锂薄膜异质集成材料是发展硅基芯片上混合集成高性能线性电光调制器的重要材料基础，铌酸锂薄膜的表面粗糙度对光子器件以及调制器的性能起做决定性的作用。本课题采取化学机械抛光技术，改善离子注入剥离铌酸锂薄膜后的表面粗造度，通过系统的工艺开发，课题实现了低至0.3 nm的铌酸锂薄膜表面粗糙度，为高性能光子学器件奠定基础。本数据集包括硅基铌酸锂异质集成薄膜材料的表面粗糙度数据，以及第三方测试报告。
提供机构：
上海微系统与信息技术研究所
数据主题
5,000+
优质数据集
54 个
任务类型
进入经典数据集
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