基于国产设备的工艺导入方案研究数据

本数据集源自基于国产碳化硅长晶设备的工艺导入方案研究，包含国产碳化硅长晶设备和外延设备的热场仿真优化、传质过程仿真优化，关键物理场参数对晶体生长过程的影响分析，以及国产长晶设备生长工艺分析和晶体生长动力学分析的有关数据，具体包括相关生长动力过程分析所用的多物理场模型、与物理场模型对应的物理结构模型、多物理场仿真导出数据源、晶体无损检测数据、晶体表面及内部光学测试分析数据、材料形貌及照片数据、基于人工智能的图像训练数据、实验研究原始记录数据、图表等。研究数据的分类是以对应研究成果作为归集，即3篇SCI论文、6件专利展开具体分类，数据集共21.1GB。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集源于基于国产碳化硅长晶及外延设备的工艺导入方案研究，涵盖热场与传质过程仿真优化、关键物理场参数对晶体生长的影响分析，以及生长工艺与动力学分析等数据。具体包括多物理场模型、物理结构模型、仿真数据源、晶体无损检测与光学测试数据、材料形貌与照片、基于人工智能的图像训练数据及实验原始记录等。数据集按3篇SCI论文和6件专利进行分类归集，总数据量约为21.1 GB。