一种单晶钻石薄膜的制备方法
收藏中国科学院中国科学技术大学科学数据中心2026-01-10 收录
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本申请提供一种单晶钻石薄膜的制备方法， 包括以下步骤：获取钻石衬底和异质衬底；对钻 石衬底的表面进行He离子注入，使注入的离子在 钻石衬底相应的深度下聚集形成缺陷层，将钻石 衬底中缺陷层之上的钻石薄膜作为同质外延的 衬底；采用同质外延在钻石薄膜上生长一层单晶 钻石薄膜；将单晶钻石薄膜与异质衬底键合，形 成键合结构；对键合结构进行湿法腐蚀或电化学 腐蚀，将缺陷层去除，使钻石薄膜转移至异质衬 底表面；
提供机构：
上海微系统与信息技术研究所创建时间：
2023-05-23
