纳米厚度膜双轴静态拉伸试验方法数据集

课题针对纳尺度结构的工艺相关力学特性表征和制造工艺质量监控的问题和需求，开展了纳结构力学特性在线提取方法研究，本数据集提出了一种基于片上试验机的纳米厚度膜双轴静态拉伸试验方法，设计了轮形加载换向结构，从而实现对试样的双向拉伸，利用实验室自主研发的键合深刻蚀释放（SOG）标准工艺完成试验机的制造，测试结果表明铝膜的断裂准则和von-mises应力准则的一致性达到89%。本数据集包括试验机结构制造工艺流程、试验机结构电镜照片、试验机结构仿真数据、试验机测试数据

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

本数据集针对纳尺度力学特性表征需求，提出了一种基于片上试验机的纳米厚度膜双轴静态拉伸试验方法，采用轮形加载换向结构实现双向拉伸，并利用SOG标准工艺完成制造。数据内容涵盖试验机制造工艺流程、结构电镜照片、仿真数据及测试数据，测试结果表明铝膜断裂准则与von-Mises应力准则的一致性达到89%。