碳化硅陶瓷运动工件台应用数据集

该数据集面向国产面板光刻机运动系统的应用验证需求，依托国家重点研发计划（2021YFB3704300），于2023-2025年间在上海微电子装备（集团）股份有限公司等单位，通过搭载碳化硅陶瓷运动工件台于光刻机工件台分系统，开展系统性长周期应用考核。数据涵盖总重量、产品数量、分辨率、运动速度、稳定时间、定位重复精度等关键指标，采集方法包括高精度称重、激光干涉测速、动态信号分析及曝光显影分辨率测试等。数据集格式包括pdf、jpg、mp4，旨在为高端光刻装备运动系统的轻量化、高速化与高精度化提供可靠的技术验证与部件支撑。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集为支持国产面板光刻机运动系统验证而创建，基于国家重点研发计划，通过在实际光刻机分系统中搭载碳化硅陶瓷运动工件台进行长期应用考核。数据涵盖了重量、分辨率、运动速度、定位精度等多个关键性能指标，采用高精度测量方法采集，旨在为高端光刻装备的轻量化、高速化和高精度化发展提供技术验证与部件支撑。