钽涂层制备及性能研究数据
收藏国家人口健康科学数据中心2026-06-01 收录
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本数据集涉及的钽涂层采用自制的常压化学气相沉积设备，主要由沉积系统、真空系统和气体控 制系统组成。钽涂层制备的实验基本原理为：利用还原性气体将气化后的 TaCl5 粉末还原为金属钽，并在高温区沉积到钛合金上。
提供机构：
北京市春立正达医疗器械股份有限公司创建时间：
2024-12-01
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本数据集涉及的钽涂层采用自制的常压化学气相沉积设备，主要由沉积系统、真空系统和气体控 制系统组成。钽涂层制备的实验基本原理为：利用还原性气体将气化后的 TaCl5 粉末还原为金属钽，并在高温区沉积到钛合金上。