光電及半導體設備產學合作成果

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政府资料开放平台2026-04-01 更新2026-05-16 收录

半导体薄膜/薄膜材料

光电材料特性分析

数据链接：

https://data.nat.gov.tw/dataset/29819 数据链接链接失效反馈

官方服务：

资源简介：

104年-CO2 Laser輔助PECVD之矽薄膜製程與含氫量等特性關係研究 ,

提供机构：

經濟部工業局

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