一种外硬内韧氮化硅陶瓷及其制备方法
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本发明涉及一种外硬内韧氮化硅陶瓷及其制备方法。所述外硬内韧Si3N4陶瓷包含三层氮化硅陶瓷；其中，中间层为内层，上下两层为外层；所述内层的主相为β‑Si3N4，优选是以88～89 .5wt%氮化硅粉体作为原料，10 .5～12wt%Al2O3‑Er2O3‑ZrSi2为烧结助剂，经热压烧结制备得到；所述外层的主相为α‑Si3N4，优选是以60 .5～71 .5wt%氮化硅粉体作为原料，以8 .5～9 .5wt%Al2O3‑Nd2O3‑LiF为烧结助剂，以及20～30wt%的TiC作为第二相，经二次热压烧结得到。
提供机构：
中国科学院兰州化学物理研究所科学数据中心创建时间：
2023-05-22
