尺寸效应对坩埚下降法生长氟化钙晶体 影响机制的数值模拟分析

"高质量大尺寸氟化钙晶体是深紫外光刻、空天相机等高端应用不可或缺的光学材料,同时制备高质量大尺寸晶 体也是晶体生长领域的难题。 本文以数值手段分别模拟了 3、7 和 20 英寸(1 英寸 = 2. 54 cm)氟化钙晶体在不同生长阶段的传热、流动及相变过程。 结果表明,晶体尺寸增加大幅加强熔体流动强度,而且造成坩埚外壁散热部分的面积急剧增加,由此引发固液界面局部凹陷、径向温差增大、晶体边缘-中心温差翻转、生长界面附近的轴向温梯大幅衰减等问题。 此外,本文还就大尺寸氟化钙晶体生长中的坩埚下降速率和发热体功率的优化控制策略进行了探讨。数据量为81.6MB。"

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集通过数值模拟方法，研究了尺寸效应对坩埚下降法生长氟化钙晶体的影响机制，分析了3、7和20英寸晶体在生长过程中的传热、流动和相变问题。结果表明，晶体尺寸增大会加强熔体流动并增加散热面积，导致固液界面局部凹陷和温差变化等问题，同时探讨了生长参数优化策略。数据量为81.6MB，包含10个文件。