高精度超光滑X射线非球面准直镜表面粗糙度数据

原子力显微镜可以表征出镜面的高频粗糙度误差，在非球面反射镜的上沿横向测量三个不同位置，采用原子力显微镜和光学轮廓仪获得三个位置的粗糙度σ_1，σ_2，σ_3。取三值平均值σ=(σ_1+σ_2+σ_3)/3作为最终粗糙度指标。数据集约为52MB。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集提供了高精度超光滑X射线非球面准直镜的表面粗糙度数据，通过原子力显微镜和光学轮廓仪在镜面三个位置测量并取平均值获得。数据量约为52MB，包含21个文件。